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离子注入代工

时间:2024-05-15 16:11:25 查看:0

离子注入代工注入元素:Ar、N、P、B、Al、H、He注入能量:30-350Kev均匀性:/注入剂量:5E11-5E16 ions/cm2

产品详情


12345

离子注入代工

    

序号

指标名称

指标能内容

1

注入能量范围(单价离子)

30-350 keV

2

注入元素

Ar、N、P、B、Al、H、He

3

注入均匀性(片内、片间)

                   /

4

              剂量范围

5E11~5E16 ions/cm2





标签:离子注入机
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