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特种离子注入机(可定制)

时间:2024-03-22 15:42:41 查看:0

该机型用于科研领域,可根据用户要求进行定制,适用于科研院所和高校使用。该种机型不追求产能,其靶室部分可以根据需求进行减配。该机型的核心性能如束流稳定性、剂量均匀性等,是与产线要求保持一致的。

产品详情

image

主要技术指标

    

序号

指标名称

指标能内容

1

晶片尺寸

定制

2

注入能量范围(单价离子)

定制

3

注入元素

定制

4

最大束流

      定制

5

          注入角度精度

定制

9

真空值

<5E-7托






标签:离子注入机
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