特种离子注入机（可定制）

时间：2024-03-22 15:42:41 查看：0

该机型用于科研领域，可根据用户要求进行定制，适用于科研院所和高校使用。该种机型不追求产能，其靶室部分可以根据需求进行减配。该机型的核心性能如束流稳定性、剂量均匀性等，是与产线要求保持一致的。